BA-MAD3单耳系列_MEMS光纤三轴加速度传感器 是一种三正交单分向的宽频带加速度传感器，是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术。该系列传感器将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测和传输。该系列的MEMS光纤加速度传感器结构紧凑，采用氧化铝对MEMS加速度芯片进行封装，灵敏度高，动态范围大、线性度好、低频从0Hz开始，具有平坦的频率特性响应、相位呈线性变化，技术参数一致性好、性能稳定可靠。